自動分選機是能根據測量結果將被測件分成合格、正超差、負超差或將合格品再分成若干類,以便選擇裝配的自動化機器
1、分選機的基本組成
分選機主要是由上料臺、檢測系統和分選系統3個部分組成。其中測量系統為整臺設備的核心部分,它又包含了厚度模組、線痕模組、隱形裂紋模組、臟污模組、邊緣模組和尺寸、翹曲模組。當硅片從上料臺入片經過測量系統時,會被這6個。模組分別檢測、對比,是否達到設定的要求,然后根據所測量的數值分選到對應的倉盒里面,最終將硅片分選出不同的等級。
2、分選機的常見故障及解決方法
當設備出現故障時,我們可以在“Errors”窗口中查看當前的錯誤信息,可以在“Protocol”窗口中查看所有被確認以及未被確認的錯誤信息,以上這些信息都按時間先后順序進行排列。
1) 厚度部分
值(TTV)偏高:硅片碎裂殘留在厚度傳感器上;電氣系統缺陷;布線缺陷。值(TTV)偏低:外側傳感器位置錯誤。TTV值顯示為0:供電電源被關閉。
2) 線痕部分
無法在軟件窗口中觀察到白色激光圖像:如果正在檢修設備,請確認是否已經關閉電源,例如按下了紅色的急停按鈕;檢查軟件設置;控制相機間寬度的馬達運動到了錯誤的位置;檢查激光器是否正常工作;檢查激光器供電狀態;檢查相機功能是否正常;檢查連接相機與電腦的數據線是否損壞;檢查電腦內部火線適配器是否正常工作。
硅片邊緣不可見:檢查傳送系統的速度設置;線痕測量值偏高;相機鏡頭未對焦準確;激光在硅片上的測量位置太靠近邊緣。
3) 臟污部分
無法在軟件中觀察到圖像:檢查光源。
始終較差的質量:光源亮度偏暗;錯誤的相機設置(如對焦);錯誤的硅片位置;硅片碎落在下方相機鏡頭上。
4) 翹曲/幾何尺寸部分
無法在軟件中觀察到圖像:檢查LED光源是否工作正常。
始終較差的質量:光源亮度太暗;錯誤的相機設置(如對焦);錯誤的硅片位置。
自動分選機的保養方案
一、潤滑、堅固(適用于專業維修人員);
1、每月至少檢查一次非免維護軸承的運行狀態,并用相應標號的潤滑油或潤滑脂進行潤滑或更替;
2、每月至少檢查一次機器各連接件之間的堅固狀態; 具體參照點檢表。
二、清潔
1、每月至少徹底清冼一次輸送帶、鏈板、機身;
2、每月至少清潔一次各傳動部件間的油污、雜質;
三、調整、更換
1、每月需要檢查各可調節、活動傳動部件的行程及間隙是否符合標準、必要時作出調整;
2、按點檢表時間安排:月份、季度、年份需要更換的損耗件進行更換;
四、防護
1、設備的日常使用嚴格遵循安全使用規程;
2、完善的維保人員培訓機制;
3、機器長期閑置的應該進行清冼并做出設備常規保養后用合適的包裝物料封存。